超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴(kuò)展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強(qiáng)，帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

•超高分辨率成像，達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

•樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

•高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

•最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求

應(yīng)用案例

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