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西安交大微納尺度材料行為研究中心:依托國產(chǎn)掃描電鏡打造先進材料原位性能研究平臺

更新時間:2025-10-28      點擊次數(shù):199


西安交通大學微納尺度材料行為研究中心依托國儀量子SEM 4000場發(fā)射掃描電鏡,集成了多套材料原位性能測試系統(tǒng),在掃描電鏡原位測試技術(shù)應(yīng)用和材料科學研究方面取得了令人矚目的成果,為國產(chǎn)高端科學儀器在前沿科研領(lǐng)域的應(yīng)用樹立了新標桿。





國內(nèi)領(lǐng)先的材料研究平臺


西安交通大學微納尺度材料行為研究中心是以材料科學與工程一級國家重點學科和金屬材料強度全國重點實驗室為依托建設(shè)的權(quán)威科研平臺,專注于微納尺度材料的結(jié)構(gòu)與性能研究。


自成立以來,中心在科研成果產(chǎn)出方面表現(xiàn)卓越,發(fā)表了包括Nature、Science在內(nèi)的高水平論文410余篇,團隊牽頭獲得了2023年國家自然科學獎二等獎等多項國家和省部級獎勵。在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用方面,中心建成了全國首條年產(chǎn)千噸級3N5A級高品質(zhì)鎂生產(chǎn)示范線,產(chǎn)生了顯著的社會和經(jīng)濟效益,真正實現(xiàn)了科研成果的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化。


中心目前建有國內(nèi)領(lǐng)先的材料原位性能研究平臺,包括配有定量納米力熱耦合測試系統(tǒng)的日立300kV環(huán)境透射電鏡、可在原子尺度原位觀察材料力熱氣行為的環(huán)境球差校正透射電鏡等多臺大型設(shè)備系統(tǒng),為開展前沿材料科學研究提供了強有力的技術(shù)支撐。

西安交大微納尺度材料行為研究中心:依托國產(chǎn)掃描電鏡打造先進材料原位性能研究平臺



國產(chǎn)電鏡的高效應(yīng)用體驗


2024年,中心正式引入國儀量子SEM4000場發(fā)射掃描電鏡。設(shè)備負責人范傳偉老師表示:“SEM4000的分辨率、穩(wěn)定性能夠很好滿足我們中心的研究需求,最讓我們印象深刻的是,從設(shè)備采購到產(chǎn)出第一篇相關(guān)論文,只用了不到4個月的時間,采購、運行和售后的效率非常高。"


在定制化服務(wù)方面,國儀量子展現(xiàn)了突出的本土化優(yōu)勢?!搬槍ξ覀儝呙桦婄R下的原位實驗需求,國儀專門為我們定制了原位視頻錄制模塊,還為不同的原位裝置定制了轉(zhuǎn)接臺。這種快速響應(yīng)和定制化服務(wù)能力,充分體現(xiàn)了國儀的專業(yè)水準和本土化優(yōu)勢。"范傳偉老師對國產(chǎn)設(shè)備的服務(wù)能力給予了高度評價。



全面的原位測試系統(tǒng)集


目前,中心的SEM4000已成功搭載了三套核心原位測試系統(tǒng),形成了完整的原位性能研究能力。


布魯克Hysitron PI 89納米力學測試系統(tǒng)是其中的重要組成部分。這套系統(tǒng)功能全面,可以實現(xiàn)納米壓痕、拉伸、斷裂、疲勞和力學性能成像等多種功能。目前,該系統(tǒng)承擔了芯片及半導(dǎo)體器件微納尺度結(jié)構(gòu)的性能測試項目,在半導(dǎo)體材料微納力學性能研究方面已經(jīng)取得了重要成果。


KW原位拉伸臺提供了從1N到5kN的加載范圍,配備了常規(guī)拉壓夾具以及緊湊拉伸、三點彎、纖維拉伸等多種專用夾具。與SEM聯(lián)用后,能夠?qū)⒉牧系牧W數(shù)據(jù)與相應(yīng)的組織變化實時結(jié)合起來進行綜合分析,為理解材料變形機理提供了重要手段。

西安交大微納尺度材料行為研究中心:依托國產(chǎn)掃描電鏡打造先進材料原位性能研究平臺


由西安交通大學儀器學院韋學勇教授團隊開發(fā)的原位扭轉(zhuǎn)試驗臺目前也已經(jīng)在SEM4000平臺上完成調(diào)試并開展原位實驗,為材料扭轉(zhuǎn)變形行為研究提供了獨特的技術(shù)手段。


范傳偉老師對集成使用體驗給予了積極評價:“各個系統(tǒng)與電鏡之間的協(xié)調(diào)性很好,操作也比較便捷,我們的研究團隊能夠快速上手。通過這些系統(tǒng)的綜合應(yīng)用,我們在材料微納尺度行為研究方面獲得了很多重要的實驗數(shù)據(jù)和科學發(fā)現(xiàn)



專為原位實驗優(yōu)化的設(shè)計優(yōu)勢


SEM4000之所以能夠出色地支撐原位測試平臺建設(shè),得益于其在設(shè)計上的多項技術(shù)優(yōu)勢。國儀量子工程師介紹,SEM4000的大樣品倉和大行程位移臺設(shè)計為復(fù)雜的原位測試系統(tǒng)提供了充足的安裝和運行空間,能夠支持各種原位臺在電鏡下的穩(wěn)定運行,這是傳統(tǒng)掃描電鏡難以實現(xiàn)的重要優(yōu)勢。強大的擴展性通過16個法蘭接口的模塊化設(shè)計得以體現(xiàn),用戶可以方便地為不同的原位臺定制真空接口結(jié)構(gòu)和各種線路連接。這種設(shè)計理念讓集成不同類型的原位測試系統(tǒng)變得非常便捷。同時,豐富的軟件功能特別是原位視頻錄制功能,能夠連續(xù)記錄和保存實驗過程中樣品的變化情況,為動態(tài)實驗分析和機理研究提供了重要的數(shù)據(jù)支撐。

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持續(xù)創(chuàng)新引領(lǐng)技術(shù)發(fā)展



面向未來,中心基于SEM4000制定了多項技術(shù)創(chuàng)新規(guī)劃,展現(xiàn)了對國產(chǎn)設(shè)備持續(xù)發(fā)展的信心。


范傳偉老師介紹:“我們計劃增配原位熱臺和EBSD系統(tǒng),實現(xiàn)原位高溫及EBSD觀察;其次,我們準備將自研的TEM原位力學定量測試軟件拓展到SEM下,實現(xiàn)更加精確的原位力學測試數(shù)據(jù)分析。第三個就是開發(fā)SEM AI Agent系統(tǒng),在人工智能的輔助下,開展設(shè)備自動化操作、圖像采集和數(shù)據(jù)處理等工作,通過人工智能技術(shù)進一步降低設(shè)備使用門檻讓更多的研究人員能夠便捷地使用這些先進的測試功能。"


“通過系統(tǒng)的持續(xù)完善和功能拓展,我們希望能夠在材料微納尺度行為研究方面取得更多突破性進展,同時也為推動國產(chǎn)科學儀器的技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用推廣貢獻我們的力量。在國儀團隊的支持下,我們對這些創(chuàng)新舉措很有信心。"范傳偉老師說。


西安交通大學微納尺度材料行為研究中心的成功實踐,充分展現(xiàn)了國產(chǎn)高端科學儀器在前沿科研領(lǐng)域的應(yīng)用潛力和技術(shù)實力。從4個月快速產(chǎn)出科研成果,到多套原位測試系統(tǒng)的成功集成,再到未來創(chuàng)新規(guī)劃的全面布局,國儀量子自研自產(chǎn)的掃描電鏡在這個國內(nèi)頂尖研究平臺上的出色表現(xiàn),為國產(chǎn)科學儀器贏得了權(quán)威認可。





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